Infrarotmikroskop C10506-05-16

InspektionInversNahinfrarot

Das invertierte Emissionsmikroskop ist ein Rückseiten-Analysesystem, das zur Identifizierung von Fehlerstellen durch Erkennung des von den Defekten in Halbleiterbauelementen emittierten Lichts und der Wärme dient. Die Signaldetektion von der Rückseite erleichtert den Einsatz von Probe und Probekarte an der Waferoberfläche, und die Probeneinstellung kann problemlos durchgeführt werden. Die Plattform, auf der mehrere Detektoren und Laser montiert werden können, ermöglicht die Auswahl des optimalen Detektors für die Durchführung verschiedener Analysemethoden, wie z. B. die Analyse der Lichtemission und Wärmeentwicklung, die IR-OBIRCH-Analyse und andere; außerdem kann die dynamische Analyse durch den Anschluss eines Testers effizient durchgeführt werden. ●iPHEMOS-DD Durch den direkten Anschluss an den LSI-Tester kann die Signalverzögerung aufgrund der Länge des Verbindungskabels reduziert werden, und die Analyse von Hochgeschwindigkeits-Antriebsproben ist möglich. Der direkt andockende dedizierte Prober ermöglicht das Anbringen von Multi-Pin-Nadeln auf 300-mm-Wafern und mit der zusätzlichen Option ist es möglich, sowohl Package-Analysen als auch das Anbringen von Pin-Nadeln durch einen Manipulator durchzuführen. Merkmale - Zwei hochempfindliche Kameras für Emissionsanalyse und thermische Analyse montierbar - Laser für bis zu 3 Wellenlängen und eine Sondenlichtquelle für EOP sind montierbar - Multiplattform zur Montage mehrerer Detektoren - Hochempfindliches Makroobjektiv und bis zu 10 Objektive für jede Detektorempfindlichkeitswellenlänge geeignet Optionen - Inklusive Laser-Scan-System - Emissionsanalyse mit hochempfindlicher Nah-Infrarot-Kamera - Thermische Analyse mit hochempfindlicher Mittelinfrarot-Kamera - IR-OBIRCH-Analyse - Dynamische Analyse durch Laserbestrahlung - EO-Sondierungsanalyse - Hochauflösende und hochempfindliche Analyse mit NanoLens