Optisches Messsystem C12562-04

DickenUniversalfür Folien

Das optische NanoGauge-Dickenmesssystem C12562 ist ein kompaktes, platzsparendes, berührungsloses Schichtdickenmesssystem, das so konzipiert ist, dass es einfach in Anlagen installiert werden kann, wo es benötigt wird. In der Halbleiterindustrie ist die Messung der Siliziumdicke aufgrund der Verbreitung der Through-Silicon-Via-Technologie unverzichtbar; und in der Folienproduktion werden die Haftschichtfolien immer dünner, um die Produktspezifikationen zu erfüllen. Daher benötigen diese Branchen jetzt eine noch höhere Genauigkeit bei Dickenmessungen im Bereich von 1 μm bis 300 μm. Der C12562 ermöglicht genaue Messungen über einen weiten Dickenbereich von 500 nm bis 300 μm, die sowohl die Dicke der dünnen Schicht als auch die Dicke des Schichtträgers und die Gesamtdicke umfassen. Das C12562 bietet außerdem schnelle Messungen mit bis zu 100 Hz, was es ideal für Messungen an Hochgeschwindigkeits-Produktionslinien macht. Merkmale - Ermöglicht Messungen von der Dünnschichtdicke bis zur Gesamtdicke - Verkürzung der Zykluszeit (max. 100 Hz) - Verbesserte externe Trigger (für Hochgeschwindigkeitsmessungen geeignet) - Vereinfachte Messung wird in die Software aufgenommen - Kann sowohl die Oberfläche analysieren - Präzise Messung von fluktuierendem Film - Analyse der optischen Konstanten (n, k) - Externe Steuerung verfügbar Spezifikationen Typennummer : C12562-04 Messbarer Schichtdickenbereich (Glas) : 500 nm bis 300 μm*1 Reproduzierbarkeit der Messung (Glas) : 0,02 nm*2 *3 Messgenauigkeit (Glas) : ±0,4 %*3 *4 Lichtquelle : Halogenlichtquelle Spotgröße : Ca. φ1 mm*3 Arbeitsabstand : 10 mm*3 Anzahl der messbaren Schichten : Max. 10 Schichten Analyse : FFT-Analyse, Fitting-Analyse, Analyse der optischen Konstante Messzeit : 3 ms/Punkt*5 Faseranschlussform : FC