Spiegel werden am häufigsten verwendet, um den Laserstrahl in einer 90°-Biegung (45° Einfallswinkel) auf das Werkstück zu richten. Bei sorgfältigem Beschichtungsdesign sind Reflexionen bis zu 100% üblich. Da sich die Beschichtung auf der Vorderseite des Spiegels befindet und nahezu 100% des Laserstrahls reflektiert, sind die thermischen Eigenschaften des Substratmaterials nicht kritisch.
Einige Strahlführungssysteme sind so konzipiert, dass eine Kamera das Werkstück durch die Rückseite des Biegespiegels sehen kann. In diesem Fall muss das Substrat im sichtbaren Bereich durchlässig sein und typischerweise wird eine Breitband-Antireflexbeschichtung (BBAR) auf die Rückseite aufgebracht, um die sichtbare Übertragung und die Kamerabilder zu verbessern.
Viele Lasersysteme verfügen über einen HeNe- oder Diodenlaser zur Ausrichtung des Strahls und zur Lokalisierung des fokussierten Flecks. Diese Systeme müssen dichroitische Biegespiegel verwenden, die sowohl die primäre 1064nm/1070nm Wellenlänge als auch die rote 632nm HeNe Wellenlänge oder 670nm Diodenwellenlänge reflektieren. Aufgrund von Designbeschränkungen kann das Reflexionsvermögen nur bei einer Wellenlänge maximiert werden. Daher sind dichroitische Spiegel in der Regel für maximales Reflexionsvermögen (fast 100%) bei der Primärwellenlänge und Best Effort hohes Reflexionsvermögen (normalerweise 80%-90%) bei der Ausrichtungslaserwellenlänge ausgelegt.
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