Pyrolyse-Detektionsmodul Py-ReX

Gaselektrochemisch

Das Pyrolzyer-Modul Py-ReX ist eine Erweiterung für das Gaswarngerät D-ReX PoS mit integrierter Pumpe zur extraktiven Gasmessung. In Kombination mit dem Py-ReX detektiert das D-ReX auch solche Gase, die für die direkte Messung zu toxisch oder chemisch zu inaktiv sind. Der Einsatz eines Pyrolyzers in der Halbleiterproduktion erweitert die Möglichkeiten der Gasdetektion und ermöglicht es der Industrie, strenge Qualitätsstandards einzuhalten und Herstellungsprozesse zu optimieren. In Prozessen, in denen Gase gemessen werden müssen, die entweder zu toxisch oder elektrochemisch zu inaktiv sind, um sie direkt zu messen, ist ein Pyrolyzer unerlässlich. Das Py-ReX wurde entwickelt, um in Kombination mit dem D-ReX PoS solche Gase im extraktiven Modus zu detektieren. Es wird zwischen Ansaugstelle und Gaswarngerät montiert. Das zu messende Gas wird per Pumpe durch den Pyrolyzer geleitet, bevor es nach der Pyrolyse zur eigentlichen Messung in die Sensorkammer des D-ReX gelangt. Ein Pyrolyzer zersetzt das ursprüngliche Gas (Zielgas) in ein messbares Gas (Messgas). Dieser Zwischenschritt ist bei einigen Gasen erforderlich, da sie andernfalls nicht nachgewiesen werden können. Aus der gemessenen Konzentration des Messgases lässt sich die Konzentration des Zielgases ableiten. Das Py-ReX ist ein Filament-Pyrolyzer. Ein in einem Quartzglasröhrchen befindlicher Glühfaden (Filament) wird auf eine bestimmte Temperatur erhitzt, die exakt auf das Zielgas justiert ist. Das Zielgas wird bei Kontakt mit dem Filament in das Messgas zersetzt und kann anschließend vom elektrochemischen Smart-Sensor im Gasmessgerät detektiert werden.