die ölfreie Ultrahochvakuumeinheit ist eine Kombination aus Turbomolekularpumpe, Absperrschieber oder Eckventil, Verbindungsschlauch, Magnetventilen, Vakuummeter und ölfreier Scroll-Vakuumpumpe GWSP in einer integrierten Einheit zur ölfreien Ultrahochvakuumförderung.
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