Das hochauflösende elektronische Durchflussregelventil ist die nächste Generation von Durchflussregelventilen, die speziell für die Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Durch den Einsatz eines Servomotors und eines optischen Positionssensors bietet es eine ultrahohe Auflösung und Wiederholgenauigkeit mit geringen Leckraten für Leck- und Spülanwendungen. Mit einer Einsitzkonstruktion und ohne Differenzdruck bietet das High Resolution Valve eine bessere Leistung als herkömmliche Nadelventile.
Das hochauflösende elektronische Durchflussregelventil
Das hochauflösende elektronische Durchflussregelventil ist eine Einsitzkonstruktion, was bedeutet, dass zur Betätigung des Ventils kein Differenzdruck erforderlich ist. Der Servomotor und der optische Positionssensor ermöglichen eine ultrahohe Auflösung, Wiederholbarkeit und geringe Leckraten für Leck- und Spülanwendungen.
Das hochauflösende Ventil ist die nächste Generation von Durchflussregelventilen, die für die Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurden.
Das hochauflösende Ventil ist die nächste Generation von Durchflussregelventilen, die speziell für die Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Durch den Einsatz eines Servomotors und eines optischen Positionssensors bietet es eine ultrahohe Auflösung und Wiederholgenauigkeit bei geringen Leckraten für Leck- und Spülanwendungen. Mit einer Einsitzkonstruktion und ohne Differenzdruck bietet das High Resolution Valve eine bessere Leistung als herkömmliche Nadelventile.
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Das hochauflösende Ventil enthält zahlreiche patentierte Innovationen.
Das hochauflösende Ventil enthält zahlreiche patentierte Innovationen, die es von allen anderen auf dem Markt erhältlichen Produkten unterscheiden.
Insbesondere bietet unsere Konstruktion ein noch nie dagewesenes Maß an Genauigkeit und Kontrolle der Durchflussmenge,
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