Absolutdrucksensor IN

piezoresistivMEMSdigital

Die Sensoren der Serie “IMPACT” sind Druckmessumformer ohne Übertragungsflüssigkeit, die für den Einsatz in Hochtemperaturanwendungen (350°C) konzipiert wurden. Der Druck des Messstoffs wird über eine Membrane großer Dicke direkt an das Sensorelement aus Silizium übertragen. Die Umwandlung der Belastung erfolgt durch eine mikrobearbeitete Struktur aus Silizium (MEMS). Das Funktionsprinzip basiert auf dem piezoresistiv Effekt. “IMPACT” ist der Name der exklusiven Gefran Baureihe von Drucksensoren für Hochtemperaturanwendungen, die den piezoelektrischen Effekt nutzen. Das wichtigste Merkmal der Sensoren “IMPACT” besteht darin, dass sie keine Übertragungsflüssigkeit enthalten. Das unmittelbar hinter der Messmembrane angeordnete Sensorelement wurde mit Hilfe der mechanischen Mikrobearbeitung aus Silizium angefertigt. Die Mikrostruktur vereinigt Messmembrane und Piezoresistoren. Da das Sensorelement nur eine minimale Durchbiegung benötigt, kann die Mechanik sehr robust gewählt werden. So kann die messstoffberührte Membrane bis 15 mal dicker sein als die Membranen von herkömmlichen Massedrucksensoren.