Positiv- und Negativ-Ton-Resist-Serien für eine breite Palette von E-Beam-Imaging-Anwendungen
- Hervorragende Auflösung
- Breite Prozessfenster
Produkt-Übersicht
FEP-Serie
- Die Produkte der FEP-Serie eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen, die eine Positivtonbelichtung mit E-Beam-Belichtung erfordern.
FEN-Reihe
- Die Produkte der FEN-Serie eignen sich für ein breites Spektrum von Anwendungen, die eine Negativton-Belichtung mit Elektronenstrahl erfordern
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