Mehrere Serien von Negativton-Resistsystemen auf Polyisopren-Basis für ein breites Spektrum von Projektions-, Proximity- und Kontaktbelichtungs- und Nassätzanforderungen auf unterschiedlichen Substraten
Produkt-Übersicht
- SC-Resist-Serie
Entwickelt für dickere Anwendungen mit Beschichtungen von 1,8 bis 10 µm für die Belichtung auf Kontaktdruckern
- IC-Resist-Serie Typ 3
Für Anwendungen mit Beschichtungen von 0,75 bis 2,0 µm für die Belichtung auf Projektions-, Näherungs- und Kontaktdruckern
- HNR-Resist-Serie
Für hochauflösende Anwendungen mit Beschichtungen von 0,50 bis 1,40 µm für die Belichtung auf Proximity- und Kontaktdruckern
- HR-Resist-Serie
Für Anwendungen mit Beschichtungen von 0,70 bis 1,50 µm für die Belichtung auf hochreflektierenden Substraten auf Projektions-, Proximity- und Kontaktdruckern
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