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Lichtempfindliches Harz ArFfür Halbleiter
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Eigenschaften
- Anwendung
- für Halbleiter
- Weitere Eigenschaften
- lichtempfindlich
Beschreibung
Materialien für die positive Trocken- und Immersionsbebilderung und die Negativtonentwicklung (NTD)
Große Auswahl an hochauflösenden Bildgebungssystemen für die Belichtung bei 193 nm, einschließlich positiver Trocken- und Immersionsbildgebung und Negativtonentwicklung (NTD)
- Hoher Durchsatz
- Hervorragende Auflösung
- Breite Prozessfenster
- Niedrige Fehlerraten
- Vertikale Profile
- GAR-Reihe
Die Produkte der GAR-Serie eignen sich für eine breite Palette von Anwendungen, die eine 193nm-Trockenbelichtung erfordern
- FAiRS-Serie für PTD
Die Produkte der FAiRS-Serie eignen sich für ein breites Spektrum von Anwendungen, die eine 193nm-Immersionsbelichtung und Positivtonentwicklung erfordern
- FAiRS-Reihe für NTD
Die Produkte der FAiRS-Serie eignen sich für ein breites Spektrum von Anwendungen, die eine 193nm-Immersionsbelichtung und Negativtonentwicklung erfordern
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.