Dickenmesssystem MicroProf® 100

optischfür Waferkompakt

Der FRT MicroProf® 100 ist das universelle Oberflächenmessgerät für die schnelle und einfache Bestimmung von Topographie, Schichtdicke und Probendicke. Als kompaktes Tischgerät und damit als kleinstes Mitglied der MicroProf-Multisensor-Familie bietet der MicroProf 100 die volle Flexibilität seiner größeren Brüder. Er basiert auf unserer bewährten SurfaceSens-Technologie, bei der verschiedene optische Messverfahren, die sonst nur in Einzellösungen zu finden sind, zu einem universellen und platzsparenden Gerät zusammengeführt werden. Darüber hinaus kann der FRT MicroProf 100 mit der TTV-Option für die beidseitige Probenprüfung ausgestattet werden. Damit können Sie die Ober- und Unterseite der Probe gleichzeitig messen und die Probendicke im selben Messvorgang bestimmen. Dank seines modularen Aufbaus kann dieses Messgerät auf Ihre spezifische Anwendung zugeschnitten werden. Neben den verschiedenen Sensoren, die hinzugefügt werden können, kann auch die Software individuell konfiguriert werden, und die Messaufgaben können entweder manuell oder automatisch durchgeführt werden.