Messsystem für Wafer MicroProf® FS

Der FRT MicroProf® FS ist ein vollautomatisches Wafer-Messtool, das für eine Vielzahl von Anwendungen in der Wafer-Gießerei konfiguriert werden kann, sowohl mit Standard- als auch mit kundenspezifischen Lösungen. Flexibilität und Vielseitigkeit sind die Schlüsselwörter, wenn es um Metrologielösungen für die heutigen Anwendungen in der Siliziumgießerei geht. MicroProf FS bietet einen modularen Ansatz, um ein vollautomatisches Multisensor-Tool zu schaffen, das alle erforderlichen Messaufgaben lösen kann. Deshalb nennen wir es den Foundry Star! Als Kernstück der Messtechnik wird das bewährte Multisensor-Messgerät FRT MicroProf 300 verwendet, das die Messung unterschiedlicher Produkte ermöglicht und - durch die Verwendung eines hybriden Messkonzepts - die Präzision von Messungen an Proben erhöht, bei denen ein einzelner Sensor oder ein einzelnes Messprinzip nicht ausreicht. Das Messsystem des MicroProf FS ist mit einer Granitbasis, einer Dreipunkt-Probenhalterung oder einer Vakuum-Spannvorrichtung ausgestattet.