Widerstandsonde Infinity Waveguide

Mit dem Aufkommen der Silizium-CMOS- und SiGe-Technologien werden die Geräte immer kleiner und schneller. Testingenieure müssen die Leistung ihrer Bauteile bis zu 500 GHz und in einigen Fällen darüber hinaus validieren. Diese Bauteil-/On-Wafer-Sondierungslösung wurde entwickelt, um die Herausforderungen der Hochfrequenz-Sondierung für fortschrittliche On-Wafer-Modellierung und -Charakterisierung zu meistern und gleichzeitig einen niedrigen, stabilen Kontaktwiderstand auf 50-Mikrometer-Pads zu gewährleisten. Bei 500 GHz ist das größte Problem das elektrische Feld um die Sonde herum. Das neue Membran-GSG-Kontaktspitzendesign der Waveguide Infinity Probe reduziert EM-Streufelder in der Nähe der Sondenspitze. Die Kontrolle der EM-Felder in der Nähe der Spitze ermöglicht wiederholbare Messungen bis 500 GHz und eine verbesserte Übersprechleistung zwischen den Spitzen.