Messsystem für Wafer TESLA300

für HalbleiterMikroskop

Das TESLA300 Advanced On-Wafer Power Semiconductor Probe System ist eine integrierte Hochleistungstestlösung, die die Erfassung von genauen Hochspannungs- und Hochstrommessdaten bis zu 3 kV (triaxial) / 10 kV (koaxial) und 200 A (Standard) / 600 A (Hochstrom) bei vollständiger Bedienersicherheit ermöglicht. Das TESLA300 bietet Möglichkeiten zur Laborautomatisierung und ermöglicht elektrische Hochleistungsmessungen für die Gerätecharakterisierung, die Entwicklung großer Stückzahlen und extrem anspruchsvolle Anwendungen. Er eignet sich auch ideal für kundenspezifische Lösungen, Nischenproduktionsanwendungen und neue Märkte. Die patentierte AttoGuard-Technologie, die in TESLA300 integriert ist, verbessert die Messungen mit geringem Leckstrom und niedriger Kapazität erheblich. In Kombination mit der patentierten TESLA FemtoGuard™ Thermal Chuck-Technologie von FormFactor bietet der TESLA300 eine vollständig geschützte und abgeschirmte Testumgebung. Der leistungsstarke TESLA FemtoGuard Chuck beinhaltet auch die MicroVac™-Technologie, die einen geringen Kontaktwiderstand, eine dünne Waferhandhabung und eine maximale Verlustleistung ermöglicht.