Messsystem für Wafer SiPh

Mikroskop

Der autonome Silizium-Photonik-Messassistent von FormFactor setzt den Industriestandard für die Silizium-Photonik-Prüfung auf Wafer- und Die-Ebene. Diese hochflexible Lösung bietet eine Vielzahl von Prüftechnologien, von einzelnen Fasern bis hin zu Arrays und von vertikaler Kopplung bis hin zu Randkopplung. Mit dem neuen revolutionären OptoVue für erweiterte Kalibrierungen, intelligenten Bildverarbeitungsalgorithmen und dem exklusiven SiPh TopHat für dunkle, abgeschirmte und frostfreie Umgebungen ermöglicht das System eine freihändige, autonome Kalibrierung und Rekalibrierung bei verschiedenen Temperaturen. Dies ermöglicht schnellere und genauere Messungen und geringere Prüfkosten. Die Verwendung einzelner optischer Fasern und Faserarrays als Sonden, um Licht in und aus einem Wafer zu koppeln, sowohl für die Oberflächen- als auch für die Kantenkopplung, bringt viele Herausforderungen mit sich, die FormFactor durch seine Contact Intelligence-Technologie bewältigt. Im Gegensatz zur elektrischen Prüfung werden bei der optischen Prüfung Fasern und Faserarrays verwendet, die nicht ihre entsprechenden "Pads", die als Gitterkoppler oder Facetten bekannt sind, auf der Waferoberfläche bzw. -kante berühren. Stattdessen müssen die Fasern relativ zu den Kopplern und Facetten gelenkt werden, um die Position der maximalen optischen Leistungsübertragung zu finden. Die Einstellung der Ausgangsposition der Faser- oder Array-Spitzen relativ zu den Gittern und Facetten und die anschließende Optimierung ihrer Position wird durch einzigartige, von den FormFactor-Ingenieuren entwickelte automatisierte Techniken erreicht. Mithilfe fortschrittlicher Bildverarbeitung und speziell entwickelter Algorithmen können die Z-Höhe, der Faser-Facetten-Abstand sowie eine Reihe automatischer Kalibrierungen der Positionierungslösung für die Prüfstation vorgenommen werden.