Temperaturmesssystem CM300xi

für Waferzur KalibrierungMikroskop

Erstklassige Messleistung bei hohem Automatisierungsgrad im Labor* Die CM300xi Probe Station erfüllt die Messanforderungen, die sich aus extrem komplexen Umgebungen ergeben, wie z. B. unbeaufsichtigte Prüfungen an kleinen Pads über einen längeren Zeitraum und bei verschiedenen Temperaturen. In einer EMI-abgeschirmten, lichtdichten und feuchtigkeitsfreien Testumgebung wird eine erstklassige Messleistung für eine breite Palette von Anwendungen erzielt. Verbesserungen beim Wärmemanagement und bei der Laborautomatisierung führen zu einer verbesserten Ausbeute und einer schnelleren Bereitstellung von Daten. Das CM300xi unterstützt Contact Intelligence™ - eine einzigartige Technologie, die eine autonome Halbleiterprüfung ermöglicht. Eine leistungsstarke Kombination aus innovativem Systemdesign und hochmoderner Bildverarbeitung bietet eine bedienerunabhängige Lösung, mit der zu jeder Zeit und bei jeder Temperatur hochzuverlässige Messdaten erzielt werden. Mit der Material-Handling-Einheit kombiniert die CM300xi Probe-Station vollautomatische Wafer-Prüfung mit höchster Genauigkeit und Flexibilität. Das System kann bis zu fünfzig 200- oder 300-mm-Wafer handhaben, die in Waferkassetten nach SEMI-Standard geliefert werden.