Messsystem für Wafer EPS200RF

zur KalibrierungMikroskop

[prisna-wp-translate-show-hide behavior="hide[/prisna-wp-translate-show-hide]Ein komplettes RF-Messpaket Der anwendungsorientierte EPS200RF ist eine Komplettlösung für erstklassige HF-Messungen bis zu 67 GHz. Basierend auf der PM8-Systemplattform enthält das EPS200RF-Paket die gesamte Hardware, Software und das Zubehör, die Sie benötigen, um HF-Bauteile mit Pads von nur 25 µm x 35 µm sicher zu messen. Das EPS200RF ist eine spezielle, fortschrittliche Probelösung, die alles enthält, was Sie brauchen, um in kürzester Zeit und mit maximaler Sicherheit genaue Messergebnisse zu erzielen. Das System umfasst die bekanntesten Methoden zur HF-Sondierung bis 67 GHz mit der Möglichkeit, Pads mit einer Größe von 25 μm x 35 μm und darüber hinaus zu sondieren.Das sehr steife und stabile Systemdesign des EPS200RF mit gegossenem Rahmen und einer einzigen Platte mit Vier-Punkt-Auflage ermöglicht eine hohe Genauigkeit. Eine integrierte Schwingungsisolierung schützt die Kontaktqualität über die Messzeit. Optimierte Optik, spielfreie X-Y-Z-Bewegung der HF-Positionierer und ein Kontakttrennungsantrieb mit hervorragender Wiederholgenauigkeit von 1 μm ermöglichen eine präzise Tasterplatzierung und eine mit halbautomatischen Systemen vergleichbare Kontaktwiederholgenauigkeit. Die branchenführenden Kabel unterstützen die höchste Größen- und Phasenstabilität der Messungen. Wählen Sie ein Paar 40-, 50- oder 67-GHz-HF-Tastköpfe aus unseren Infinity Probe®-, |Z| Probe®-, ACP- und FPC-Tastkopffamilien, um die beste Kontaktleistung zu erzielen. Mit der Software WinCal XE™ erhalten Sie patentierte LRRM- und LRM+-Methoden für beste Kalibriergenauigkeit