Das FOM alphaSC ist die ultimative Kombination aus Kontrolle, Funktionalität und Vielseitigkeit in der Dünnschichtforschung und -produktion. Alle Elemente der Hardware, der Software und der Premium-Funktionen wurden darauf zugeschnitten, experimentelle Fehler zu eliminieren und die Nutzbarkeit sowohl mit flexiblen als auch mit starren Substraten zu erhöhen. Das FOM alphaSC bietet den Anwendern eine unübertroffene Vielseitigkeit, Präzision und Prozessreproduzierbarkeit für ein breites Spektrum von Materialien und Beschichtungsprozessen im Labormaßstab, die für Industrie und Wissenschaft relevant sind.
Mikroporöse Vakuum-Spannvorrichtung mit gleichmäßiger Erwärmung
Motorisiertes, hochpräzises Chuck-Bewegungssystem (10 µm-Schritte)
Motorisiertes, hochpräzises Gantry-Bewegungssystem (10-µm-Schritte)
Externe Schnellbedienungsbox für manuelle Bedienung
Nahtlose Integration der Glovebox
Vollständig automatisierte Abscheidungsrezeptfunktionen
Integrierter Ofen als Upgrade erhältlich
Kompatibel mit Rolle-zu-Rolle-Verarbeitung
Temperaturgesteuerte Spritzenpumpe
Beheizte Schlitzdüsen im Bereich von Raumtemperatur bis 80 Grad Celsius
Trocknungsoptionen (IR, UV, Heißluft, Stickstoff-Spülluftmesser)
Großer Vakuumspannbereich ab A4 und aufwärts
Gestaltung
Das FOM alphaSC ist der Goldstandard für Weltklasse-Forschungszentren mit ehrgeizigen Technologieentwicklungsplänen. Die Kombination aus Vollautomatisierung und nahtloser Integration der Steuerungssoftware steht im Mittelpunkt des Designs und ermöglicht eine beispiellose Reproduzierbarkeit für einen systematischen Versuchsaufbau.
Fließende Automatisierung und Lab-to-Fab-Ansatz.
Ganz gleich, ob Sie Grundlagenforschung betreiben, Konzepte der nächsten Generation entwickeln oder Rekordwirkungsgrade anstreben, das FOM alphaSC ist in der Lage, Ihre Entwicklung zu beschleunigen, unabhängig davon, ob Sie sich auf starre oder leichte, flexible Substrate konzentrieren.
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