Die höchste Genauigkeitsklasse „Ultrapräzision plus“ brilliert mit einer Genauigkeit von 0,0005 mm, also 0,5 μm. Da die Steuerung der Linearachsen von Föhrenbach mit den Schnittstellen von fast allen Messsystemen kompatibel ist, ist diese außerordentliche Wiederholgenauigkeit nicht an ein bestimmtes System oder einen bestimmten Anbieter gebunden.