Large-Area Multi-Chip Production Die Bonder
Der vollautomatische Produktionsbonder FineXT 6003 mit großem Arbeitsbereich wurde für echte Multi-Chip-Anwendungen in der Serienproduktion entwickelt.
Durch seine modulare Systemarchitektur lässt sich der Produktionsbonder für eine Vielzahl aktueller Advanced-Packaging-Technologien konfigurieren. Zusätzliche Funktionen können zudem einfach nachgerüstet werden, um den Die-Bonder jederzeit an geänderte technologische Entwicklungen und Anforderungen in der Produktion anzupassen. In Verbindung mit automatischem Material-Handling und Werkzeugmanagement gewährleistet der Die-Bonder einen hohen Grad an Prozessflexibilität in der Fertigung opto-elektronischer Bauteile der nächsten Generation sowie bei anspruchsvollen Fan-Out-Anwendungen.
Im Betrieb lassen sich ein Speed-Modus sowie ein Präzisions-Modus frei miteinander kombinieren. Angesichts häufig wechselnder Genauigkeitsanforderungen in der Fertigung von Multi-Chip-Modulen sichert dies optimalen Durchsatz und macht den automatischen Die-Bonder FineXT 6003 zur perfekten Lösung für moderne Halbleiter-Produktionsumgebungen.
Platziergenauigkeit 3 µm
Sehr große Arbeitsfläche für Wafer und Panels
Multi-Wafer-Fähigkeit
Automatische Kalibrierung der Platziergenauigkeit
Vollautomatische Materialverwaltung
Automatische Werkzeugverwaltung
Einstellbare Fertigungsgeschwindigkeit
Multi-Chip-Fähigkeit
Granitbasis und Luftlager
Breites Spektrum unterstützter Bauteilpräsentationen (Wafer, Waffel Pack, Gel-Pak®)
Modulare Maschinenplattform ermöglicht Vor-Ort-Nachrüstung über die gesamte Nutzungsdauer