Messen Sie Abscheideraten, Schichtdicken, optische Konstanten (n und k) und die Uniformität von Halbleitern und dielektrischen Schichten in Echtzeit mit dem F30 System.
Beispielschichten
MBE und MOCVD: Glatte und lichtdurchlässige, oder geringfügig asorbierende Filme können vermessen werden. Das schließt nahezu sämtliche Halbleiter, von AIGaN bis GaInAsP, ein.