Optisches Profilometer 35 nm - 3 µm | F42

zur Dünnschicht-Analyse

Das Filmetrics F42 kann die Schichtdicke von mehr als einer Million Punkten abbilden mit einer minimalen Punktgröße von 3µm. Der Einsatz einer integrierten CCD Kamera mit Live-Videobild-Funktion ermöglicht eine einfache und exakte Positionierung der Probe. Um einen interessanten Bereich im Kamerabild zu analysieren, markieren Sie diesen einfach mit der Maus. Pixel-breite Spotgröße Eine Schichtdickenmessung wird an jedem Pixel auf dem Schirm durchgeführt, mit einer minimalen Pixelgröße von 3µm. Das ermöglicht Messungen von kleinsten Mikrostrukturen wie Kanälen oder Hohlräumen. Mapping Die Gleichförmigkeit kann an diesen Strukturen mithilfe der Mapping-Fähigkeit des F42 überprüft werden. Mit einem Klick können mehr als eine Million einzelne Schichtdicken berechnet und in einer leicht lesbaren Gradientenkarte dargestellt werden. Die durchschnittliche Schichtdicke und andere statistische Werte werden automatisch ermittelt, wobei Schichtdicken-Messwerte hervorgehoben werden, die ausserhalb von vom Nutzer definierten Grenzen liegen. Mit Hilfe des Qualitätschecks des ermittelten Schichtdicken-Mappings können uninteressante Bereiche gefiltert werden.