Prozess-Ingenieure wünschen sich eine schnelle Schichtdickenmessung ohne Umstände. Unsere innovative Thickness Imaging™ Technologie ermöglicht Filmetrics, eine einfache Verfahrenseinrichtung und eine branchenführende Effizienz anzubieten, und das alles zu einem Bruchteil der Kosten konkurrierender Metrologie-Tools.
Im Gegensatz zu herkömmlichen Metrologie-Tools, die die Dicke an einem einzigen Spot messen, erzeugt das F80 schnell ein Bild der Dicke, indem es Tausende von Dickenmessungen in der Nähe der Messposition erfasst.
Verfügbare Konfigurationen reichen von preiswerten, manuell zu ladenden Tischsystemen bis zu voll automatischen, autonomen Kassette-zu-Kassette Systemen.
Wenn Sie nach der nächsten Generation der Schichtdicken-Metrologie suchen, dann brauchen Sie nicht weiter zu suchen als zum Filmetrics F80. Das F80 ist das Tool, auf das CMP, CVD, PVD und Wafer Track Prozess-Ingenieure gewartet haben.
Thickness Imaging™ ist eine Marke der Filmetrics Inc.
R&D 100 Preis gewonnen für Filmetrics' Thickness Imaging™ Technologie.