Ungleiche Messgenauigkeit :
- 0,1 μm Genauigkeit
- Reproduzierbarkeit < 0,05 μm
- Geschützter laminarer Luftstrom
- Wärme-Sensor
Hyper-Vielseitigkeit :
- Vermessung und Oberflächeninspektion
- Betrieb im vollautomatischen Modus oder als Einzelmessplatz
- Unterschiedliche Teilegeometrien
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