Verarbeitungsanlage für die Lebensmittelindustrie EVG®120

für Wafer

Der EVG®120 ist ein kompaktes, kostengünstiges Resistverarbeitungssystem für den Produktionsstart bei beengten Reinraumverhältnissen. Das neue universelle und vollautomatische Resistverarbeitungswerkzeug EVG120 ist in der Lage, verschiedene Substratformen und -größen bis zu 200 mm/8" zu verarbeiten. Diese neue Generation des EVG120 ist in einem neuen, ultrakompakten Design mit neu entwickeltem Chemikalienschrank für die externe Lagerung von Chemikalien bei gleichzeitig erhöhter Durchsatzleistung erhältlich, optimiert für hochvolumige Kundenbedürfnisse und einsatzbereit für die Großserienfertigung (HVM). Das EVG120 bietet dem Anwender einen durchdachten Leistungsumfang, der in keinem anderen Werkzeug zu finden ist und garantiert höchste Qualitätsstandards in verschiedenen Anwendungsbereichen bei bemerkenswert niedrigen Betriebskosten. Merkmale Wafergrößen bis zu 200 mm Ultrakompaktes Design für minimalen Platzbedarf Bis zu 2 Beschichtungs-/Entwicklungskammern und 10 Heiz-/Kühlplatten Vielseitige Kombinationen von multifunktionalen Modulen für Spin- und Sprühbeschichtung, Entwicklung, Backen und Kühlen bieten große Möglichkeiten in vielen Anwendungsbereichen Chemikalienschrank zur externen Lagerung von Chemikalien Die von der EV-Gruppe entwickelte OmniSpray® Ultraschall-Zerstäubungstechnologie liefert unübertroffene Prozessergebnisse bei der konformen Beschichtung extremer Topographien CoverSpinTM rotierende Abdeckung für geringen Resistverbrauch und optimierte Gleichmäßigkeit der Resistbeschichtung Megasonic-Technologie für Reinigung, sono-chemische Verarbeitung und Entwicklung verbessert die Prozesseffizienz und senkt die Prozesszeit von Stunden auf Minuten Ausgereiftes und praxiserprobtes Roboterhandling mit doppelter End-Effektor-Fähigkeit gewährleistet einen kontinuierlich hohen Durchsatz