BAG402
Mittel- bis Ultra-Hochvakuum-Messgerät
Der INFICON single Bayard-Alpert Hot Ion Gauge BAG402 deckt einen weiten Messbereich von 5×10-10 mbar bis 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr bis 5×10-2 Torr) ab. Wählen Sie den INFICON BAG402 für erschwingliche und wiederholbare Verfahren zur Durchführung von Druckmessungen in einem kompakten aktiven Manometerpaket. Die einzigartigen, unterstützten Doppelfilamente bieten überlegene Genauigkeit, Langzeitstabilität und Langlebigkeit.
Vorteile
Messbereich von 5×10-10 mbar bis 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr bis 5×10-2 Torr)
Hervorragende Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 ... 10-2 mbar von 5%
Überdruckerkennung schützt das Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfäden
Automatische Emissionsstromauswahl reduziert die Steuerungskomplexität
Leicht austauschbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
RoHS-Konformität
Typische Anwendungen
Druckmessung in Halbleiterprozess und Transferkammern
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und -regelung im Nieder- bis Ultrahochvakuumbereich
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