UL1000 Fab
Trockener Helium-Lecksucher UL1000 Fab
Eine neue Dimension der Stabilität und Reaktionsfähigkeit bei Lecks bis hinunter zu 10 -12 atm/css. Das INFICON UL1000 Fab Mobile Helium
Der Lecksucher ist speziell auf die Anforderungen von Halbleiteranwendungen ausgelegt. Durch die einfache Bedienung, die Effizienz der Leckerkennung und die Mobilität innerhalb der System-Prioritäten der Fabrikumgebung bietet der UL1000 Fab eine extrem schnelle Reaktion der Leckrate über alle Messbereiche.
Die UL1000 Fab bietet eine noch nie dagewesene Leckratenstabilität bis hinunter zu < 5×10-12 atm cc/s durch eine optimierte Vakuumarchitektur, die ein hohes Helium-Pumpvermögen und hohe Einlassdrücke kombiniert. Die proprietäre Software I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm of Leak Rates) lässt Sie lange Reaktionszeiten in Bereichen mit niedrigen Leckraten vergessen, da der UL1000 Fab schnell auf alle Leckratenbereiche reagiert.
Mit der Ergänzung des TC1000 Testkammer-Zubehörs bietet der UL1000 Fab Helium-Lecksucher eine einfache, schnelle und genaue Prüfung von hermetisch abgedichteten Teilen wie IC-Gehäusen, Quarzkristallen und Laserdioden (gemäß MIL-STD 883, Methode 1014).
Merkmale
großer Messbereich über 15 Dekaden
kurze Abpump- und Reaktionszeit
mobiles Ganzmetallgehäuse für zusätzlichen Komfort mit kompromissloser Manövrierfähigkeit
I-CAL zur Gewährleistung der schnellsten Reaktionszeit auf Leckagen in allen Messbereichen
nullfunktion mit automatischem Integrationszeitabgleich für schnelle und zuverlässige Testergebnisse
intelligentes Vakuumdesign mit einer robusten Spiralpumpe und einer Turbomolekularpumpe mit mehreren Einlässen, die ein hohes Heliumpumppumpleistung mit hoher Kompression bietet
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