MPG40x
ATM bis Ultra-Hochvakuum-Messgerät
Die INFICON Inverted Magnetron Pirani Gauges, MPG400 und MPG401, messen von 5 x 10-9 mbar bis zur Atmosphäre (3,8 x 10-9 Torr bis zur Atmosphäre). Die Kombination von Technologien in einer einzigen kompakten Einheit mit einem logarithmischen analogen Ausgangssignal reduziert die Komplexität der Installation, Einrichtung und Integration erheblich.
Vorteile
Kombi-Messgerät - Invertiertes Magnetron & Pirani
Großer Messbereich von 5 x 10-9 mbar bis zur Atmosphäre
Kein Glühfaden, der ausbrennt
Ausgezeichnete Entzündungseigenschaften
Leicht zu reinigen
FPM- oder metallisch abgedichtete Durchführung
LED-Anzeige für Hochspannung an
Logarithmisches analoges Ausgangssignal
Typische Anwendungen
Überwachung des Hochvakuumdrucks
Basisdruck für Verdampfungs- und Sputtersysteme
Allgemeine Vakuummessung und -regelung im Mittel- und Hochvakuumbereich
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