CDG045D2
Das INFICON Kanten-Kapazitäts-Membran-Messgerät ist ein hochpräzises Vakuummessgerät, das für raue Produktionsumgebungen entwickelt wurde. Der bewährte temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige, ultrareine Keramiksensor bietet eine hervorragende Spannweitenstabilität über viele Jahre hinweg gepaart mit einer hochmodernen Nullpunktstabilität. Edge wird mit dem von INFICON patentierten einzigartigen Sensorschild geliefert, das das Messgerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die fortschrittliche Elektronik bietet eine breite Palette an konfigurierbarer Signalkonditionierung für alle Anwendungen und eine optionale EtherCAT-Feldbusschnittstelle. Das innovative Heizkonzept ermöglicht eine kühle bis zur Berührungsfläche und spart wertvollen Werkzeugplatz. INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.
Vorteile
Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
Einfache Integration, EtherCAT, große Auswahl an Vollskalen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Ein-Tasten- oder Fernsignal-Nullpunktbefehl, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnellen Service und Wartung
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgeräteschutz
Keine Langzeit-Rekalibrierung aufgrund der ausgezeichneten Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei rauen Plasmaanwendungen
Einhaltung und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Typische Anwendungen
CVD, Ätzen, PVD und andere Halbleiterproduktionsverfahren
---