CDG160D
Die INFICON SKY CDG160D Hochtemperaturmanometer sind Ihre beste Wahl für die genaue Messung und Regelung des Gesamtdrucks. Die CDG160D-Messgeräte sind bei 160 °C temperaturgesteuert, um eine hervorragende Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen zu gewährleisten. Sie sind für Messbereichsendwerte von 1 Torr bis 1000 Torr, mit allen gängigen Flanschtypen und Feldbus-Schnittstellen erhältlich und liefern ein lineares, gasartunabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. INFICON Kapazitätsmanometer verwenden eine ultrareine Aluminiumoxid-Keramikmembran, die korrosionsbeständig ist. Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, eine schnellere Erholung von der Atmosphäre, eine kurze Aufwärmzeit und eine außergewöhnliche Lebensdauer. INFICON CDG sind qualitativ hochwertige, kostengünstige Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.
Vorteile
Geringere CoO (Cost of Ownership), 50% schnelleres Aufwärmen, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, große Auswahl an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Ein-Tasten- oder Fernsignal-Nullpunktbefehl, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnellen Service und Wartung
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit Heizkonzept und Messgeräteschutz
Keine Langzeit-Rekalibrierung aufgrund der ausgezeichneten Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei rauen Plasmaanwendungen
Einhaltung und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Typische Anwendungen
Ätzen, CVD, PVD und andere Halbleiterproduktionsverfahren
Chemische und korrosive Hochtemperaturprozesse
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die einen Schutz der Messgeräte erfordern
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