Vakuummeter / Kapazität mit Membran CDG025D

mit Keramiksensordigital

CDG025D Die INFICON SKY CDG025D Kapazitäts-Membranmanometerlinie mit hochpräzisen temperaturkompensierten Manometern wurde für eine stabile Leistung in rauen Fertigungswerkzeugumgebungen entwickelt. Moderne digitale Elektronik verbessert die Leistung des Messgeräts und bietet einfache Handhabungsfunktionen, wie z.B. eine Ein-Tasten-Nullstellfunktion und Sollwerteinstellung. Der korrosionsbeständige Keramiksensor bietet eine ausgezeichnete Nullpunktstabilität mit einer langen Lebensdauer von mehreren Millionen Druckzyklen, einschließlich atmosphärischer Ausbrüche. Eine einzigartige Sensorabschirmung (zum Patent angemeldet) schützt das Messgerät vor Prozesskontamination. Ein robustes mechanisches Design und digitale Elektronik verbessern die EMV-Verträglichkeit, die Langzeitstabilität und die Temperaturkompensation. Der CDG025D setzt neue Maßstäbe für die schnelle Stabilität nach dem Einschalten und die schnelle Erholung von der Belastung durch den Atmosphärendruck. Vorteile Skalenendwerte von 100 mTorr ... 1000 Torr Schnelle Stabilität nach dem Einschalten Schnelle Erholung vom atmosphärischen Druck Korrosionsbeständiger Keramiksensor Ausgezeichnete langfristige Signalstabilität Temperaturkompensiert Sensor vor Verschmutzung geschützt Ein-Tasten-Null-Funktion Weitbereichs-Netzteil Typische Anwendungen Halbleiter-Herstellungsanlagen für Ätzen, CVD, PVD, ALD Datenspeicher- und Anzeigeherstellungsausrüstung Industrielle Vakuumausrüstung Allgemeine hochgenaue Druckmessung