Aktiv-Schwingungsisolationssystem QUIET POD

für die HalbleiterindustriePODSandwich

Erleben Sie eine noch nie dagewesene Prozessstabilität mit dem aktiven Isolationssystem QUIET, das Bodenschwingungen neutralisiert und die Reaktionskräfte des Bewegungssystems aufhebt und so einen einwandfreien Betrieb Ihrer Maschine gewährleistet. Bei Halbleiteranwendungen können Vibrationen die Genauigkeit und den Durchsatz der Maschine drastisch beeinträchtigen. Die QUIET-Serie von ETEL revolutioniert dieses Problem, indem sie unsere Vorwärtsintegrationsstrategie durch die nahtlose Integration fortschrittlicher Bewegungssysteme und hochmoderner Steuerungen mit unserem proprietären aktiven Isolationsmodul ergänzt. Diese umfassende Lösung minimiert die Bewegungs- und Einschwingzeiten und nutzt eine einzigartige digitale Steuerungsarchitektur, um Reaktionskräfte auszugleichen und die Prozessgenauigkeit zu erhalten. Mit ihrem modularen Design in Verbindung mit Standard-AccurET-Steuerungen bietet die QUIET-Serie eine unvergleichliche Anpassungsfähigkeit und Zuverlässigkeit und verspricht eine optimale, auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Leistung.