Drehachse mit Direktantrieb DXRH

für HalbleiterPräzision

Die DXRH ist die neueste Ergänzung zu den Rundachsenlösungen von ETEL. Sie ist eine mechanisch gelagerte Drehachse mit einem Freiheitsgrad und hervorragender Leistung in Bezug auf Genauigkeit und Präzision. Ausgestattet mit einem Winkelmessgerät mit 360.000 Signalperioden und unübertroffenen mechanischen Eigenschaften, ist sie direkt vergleichbar mit einer Luftlagerlösung ohne deren damit verbundene Komplexität. Dadurch wird die DXRH in ihrem Herzstück von der besten HEIDENHAIN Geber- und Lagertechnologie bedient sowie ETELs Direktantriebstechnologie mit zahnlosem Motor ohne Drehmomentwelligkeit. Vollständig kompatibel mit den Standard ETEL Schnittstellen, ist das DXRH Modul als eigenständiges Modul oder im ETEL System-Portfolio integriert erhältlich. Es bietet auch die Möglichkeit zur Leistungssteigerung für alle DXR+ basierten Anwendungen ohne Neukonstruktion, da die Schnittstellen identisch sind. Die DXRH Drehachse kann in die gestapelten Plattformen CHARON2 und VULCANO2 integriert werden. Sie bringt hohe Steifigkeit, hohe Präzision, hohe Genauigkeit, einen hohen Reinheitsgrad sowie geringe thermisch induzierte Verformung dank ihrer Ausführung in Edelstahl. Mit Fokus auf Erleichterung von Halbleiteranwendungen, bleibt das Modul für alle unterschiedlichen Märkte und Anforderungen passend, die Lösungen für hochpräzise und hochgenaue Drehbewegungen erfordern. Geeignet für verschiedene Anwendungen und Branchen, ist das DXRH Drehmodul besonders geeignet für Anwendungen zur Wafer-Prozesskontrolle wie z.B. Overlay-Metrologie, Kritische Dimension und Dünnschicht-Metrologie sowie Photonik.