Positioniersystem / Gestapeltes System CHARON2

3-Achs4-Achs5-Achs

CHARON2 ist unsere beliebteste Motion-System-Plattform. Durch seine robuste und zuverlässige Stacked-Architektur, die mit Blick auf Modularität und Skalierbarkeit entwickelt wurde, ist er als kostengünstiger Einstiegspunkt für viele schlüsselfertige Bewegungslösungen anerkannt. Die CHARON2-Familie ist in einer Vielzahl verschiedener vordefinierter Konfigurationen erhältlich, die von einer einzelnen X-Achse bis hin zu einem kompletten 6-Grad-Freiheitsgrad-Bewegungssystem (DOF) reichen. Durch die Auswahl aus unserer Standardelektronik ist das CHARON2-System in seiner Leistung skalierbar, um die angestrebten Spezifikationen bestmöglich zu erfüllen. Mit mehr als 3000 im Einsatz befindlichen Tischen eignet sich CHARON2 für alle Anwendungen in der Halbleiterindustrie und viele Anwendungsfälle in anderen Märkten, wie z.B. Medizin, Pharmazie oder Materialwissenschaften. Die Positionsgenauigkeit von ±1 µm, gepaart mit ausgezeichneter bidirektionaler Wiederholbarkeit und hoher Dynamik, wird dank proprietärer IP für Motoren, Elektronik und Steuerung in einem optimierten Footprint erreicht, was die erstklassigen Innovations- und Kompetenzfähigkeiten von ETEL unter Beweis stellt. Merkmale Standardhübe von 365 x 355 mm und 475 x 410 mm Kompakte Grundfläche und Design, geeignet für Anwendungen mit begrenztem Platzangebot Bis zu 6 Freiheitsgrade Bis zu 30 kg Nutzlast Integrierte Vakuumversorgung und kundenseitige Signalkabel auf Futterhöhe Hier sind die wichtigsten Merkmale: Nanometer-Positionsstabilität Sorgt für präzise Positioniergenauigkeit über längere Zeiträume. ISO2-Reinraumkompatibilität Geeignet für kontrollierte Umgebungen mit strengen Sauberkeitsanforderungen. Tip-Tilt-Korrektur mit dem kombinierten Modul Z3TM+ Ermöglicht eine präzise Einstellung für eine optimale Positionierung.