Für die anspruchsvollsten Anwendungen hat ETEL ein einzigartiges Sortiment an Positionsreglern mit sehr hoher Leistungsfähigkeit entwickelt, genannt AccurET VHP. Diese Produktpalette ist mit beidem ausgestattet, spezieller Hardware und Software, was die Leistungsfähigkeit maximiert.
AccurET VHP Positionsregler sind kompatibel mit allen anderen AccurET Reglern und können den anspruchsvollsten Achsen zugeordnet werden. In der Tat ist es die gleiche dezentrale Architektur die im AccurET Modular verwendet wird. Dies ermöglicht, wichtige Teile der Maschinensteuerungs-Software auf der Achs-Ebene abzulegen. Zusätzlich zu den Vorteilen der ETEL Regler wie z.B. hohe Rechenleistung, schnellem Echtzeit-Kommunikationsbus, sowie hochmodernen Steuerungs-Algorithmen, bietet ETELs VHP Palette ein hervorragendes Signal-Rausch-Verhältnis.
AccurET VHPs werden erfolgreich in folgenden Bereichen eingesetzt:
- Prozessteuerung
- Wafer-Prüfung
- Lithographie
- Wafer und Die Level Packaging
- Test- und Prüf-Geräte