Positioniersystem / Kombinierte Module ZT

3-AchsXYvertikal

Die ZT Box ist ein Modul, das zwei Freiheitsgrade in Z und Theta, innerhalb einer einzelnen Einheit kombinitert. Es sind zwei Antriebe möglich entlang der Z Richting, ein Grober und ein Genauer. Dieses Modul kann im Standalone-Modus oder oben auf der XY Plattform angebracht, verwendet werden. Dieses Modul ist besonders geeignet für Wafer Kontrollprozesse wie z.B. Dünnschicht-Messtechnik, kritische Maße, etc. Besonderheiten - Endlose Drehbewegung - Eingebaute Vakuumversorgung bis zur Ebene der Wafer-Aufnahmevorrichtung - Eingebauter Gewichtskraft-Ausgleich - ISO1 Reinraum kompatibel dank Vakuumabsaugung - Grobe Z Achse mit 12 mm Hub für Wafer Laden/Entladen und genaue Z Achse mit 4 mm Hub zur Fokuseinstellung - Version ohne grobe Z Achse möglich - Sehr kleiner Z Jitter sowie gutes Bewegungs- und Einschwingverhalten Wichtigste Merkmale - Positionsgenauigkeit: ±0,6 µm für Z und ±30 arcsec für T - Geschwindigkeiten: 0,1 m/s für Z und 15,7 rad/s für T - Beschleunigung bis zu: 0,2 g für Z und 104,7 rad/s² für T - Positionsstabilität: ±5 nm für Z und ±0,2 arcsec für T