Positioniersystem / Gestapeltes System VULCANO2

2-3 AchsenBrückenfür Wafer-Inspektion und Metrologie

VULCANO2 ist unsere Gantry-Architektur mit gestapelten Achsen, die unsere bekannten Ironcore-Motoren, mechanischen Lager und optischen High-End-Encoder kombiniert, um eine großartige geometrische Leistung bei hoher Dynamik zu erzielen. Im Vergleich zu unserer gestapelten CHARON2-Familie bietet der VULCANO2 vor allem eine höhere Einschaltdauer und Nutzlast. Seine kompakte Grundfläche maximiert die Kosteneffizienz, ohne Kompromisse bei Durchsatz und Arbeitszyklen einzugehen. Ob Standard oder kundenspezifisch, der VULCANO2 gewährleistet eine gleichbleibende Wiederholbarkeit und Genauigkeit, auch bei längerem Betrieb. Diese Plattform ist ideal für Anwendungen, die Präzision erfordern, wie Overlay-Messtechnik und Flip-Chip-Prozesse auf großen Platten. Merkmale Bis zu 6 Freiheitsgrade Integrierte Vakuumversorgung und kundenseitige Signalkabel auf Futterebene Hier sind die wichtigsten Merkmale Nanometer-Positionsstabilität Sorgt für präzise Positioniergenauigkeit über längere Zeiträume. ISO-2-Reinraumkompatibilität Geeignet für kontrollierte Umgebungen mit strengen Sauberkeitsanforderungen. Tip-Tilt-Korrektur mit dem kombinierten Modul Z3TM+ Ermöglicht eine präzise Einstellung für eine optimale Positionierung. Grob-Z-Funktion mit dem Z3TM+ Kombimodul Zusätzlicher 12 mm elektrischer Hebemechanismus für das Be- und Entladen von Wafern. Eingebaute Vakuumversorgung auf Chuck-Ebene Erleichtert den effizienten Betrieb durch Sicherstellung der richtigen Materialhandhabung. Kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten Schnelle Reaktion und Stabilisierung für eine höhere Produktivität.