GateKeeper® Gasreinigungssysteme
GPS-Medienserien (HX, DX und Z2) liefern eine Reihe von gereinigten Gasen im Bereich von Teilen pro Billion (ppt) bei niedrigen Betriebskosten
Maximale Durchflussmengen im Bereich von 311 SLM bis 932 SLM
Zu den Anwendungen gehören Tauchlithographiewerkzeuge, Halbleiter- und LED-Produktion
Die Separatoren regenerieren sich automatisch selbst und garantieren einen kontinuierlichen Reingasstrom
Kompaktes Design mit minimalem Platzbedarf in der Fertigung, um Einsparungen bei den Betriebskosten zu erzielen
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