Aufreinigungsanlage für Gas GateKeeper

Aufreinigungsanlage für Gas - GateKeeper - Entegris
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Eigenschaften

Merkmal
für Gas

Beschreibung

GateKeeper® Gasreinigungssysteme GPS-Medienserien (HX, DX und Z2) liefern eine Reihe von gereinigten Gasen im Bereich von Teilen pro Billion (ppt) bei niedrigen Betriebskosten Maximale Durchflussmengen im Bereich von 311 SLM bis 932 SLM Zu den Anwendungen gehören Tauchlithographiewerkzeuge, Halbleiter- und LED-Produktion Die Separatoren regenerieren sich automatisch selbst und garantieren einen kontinuierlichen Reingasstrom Kompaktes Design mit minimalem Platzbedarf in der Fertigung, um Einsparungen bei den Betriebskosten zu erzielen

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.