GateKeeper® 200M Massengas-Reinigungsapparate
Hoch-fließen Gasreinigung
Liefert durchweg ultrapure Gas
Entworfen für Gebrauch mit CDA oder Edelgasen
Schutz gegen Verunreinigungsspitzen von den flüssigen Sammelbehältern und von der inkonsequenten Versorgungsmaterial-Gasqualität
Gibt nicht Kohlenwasserstoffe frei, die den Prozess verschmutzen können
Reinigungtechnologie der umgebenden Temperatur des Gebrauches - keine Energie oder Hitze erfordert
Hoch-fließen Gasreinigung
Ausführungsmaterialien:
316L Edelstahl, electropolished Ra 10
Mittel:
Modell SS200MI: Nickel metallisch
Modell SS200MZ: Anorganisch
Gase gereinigt:
Modell SS200MI: N2, er, Ne, Kr, AR, Halocarbons, helle Kohlenwasserstoffe
Modell SS200MZ: CDA
Anschlussreinheit:
Modell SS200MI: N2 <1 ppb H2, Co, CO2; ppt <100 (Teil-pro-Trillion) H2O, O2
Modell SS200MZ: <1 ppb H2S, H2O, CO2, Amine, saure Gase und Spiritus; <100 ppt NOx; ppt <10 NH3; <1 ppt NMHC, Siloxane, SO2
Anschlusspartikelfiltration:
μm 20
Maximaler Differenzdruck:
kPa 1379 (200 Psid)
Minimaler Betriebsdruck:
kPa 101 (14.7 PSIA)
Maximale Strömungsgeschwindigkeit:
20000 SLPM
Nominale Strömungsgeschwindigkeit:
3500 SLPM
Leckbewertung:
4 × 10-9 ATM cc/sec.
Maximale Eingangsherausforderung des verunreinigers, zum von Produkt-Leistungsfähigkeit beizubehalten:
10 PPMs (Teil-pro Million)
Lebenszeit:
Ein Jahr mit nominaler Strömungsgeschwindigkeit mit 1 PPM-Eingangsherausforderung der Feuchtigkeit
Normalbetriebshöchsttemperatur:
65°C (149°F)
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