GateKeeper® Hydrid-Gas-Reinigungsapparate
Kosteneffektive, umweltfreundliche Gasreinigung
Entworfen für Gebrauch mit NH3, AsH3, PH3, SiH 4 und GeH4. Die Reinigungsapparate entfernen O2, CO2, H2O und OxidationsnebenerscheinungsVor-ppb (Teil-pro-Milliarde) Niveaus.
Schutz gegen Massengasreinigungsapparatdurchbruch, Verunreinigungsspitzen von den flüssigen Sammelbehältern, Zylinder changeouts und unerwartete verunreiniger im Prozess
Gibt nicht Kohlenwasserstoffe frei, die den Prozess verschmutzen können
Reinigungtechnologie der umgebenden Temperatur des Gebrauches - keine Energie oder Hitze erfordert
Niederdrucktropfen über Reinigungsapparaten
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