GateKeeper® HX-Serie Gasreiniger
Hervorragende Reinheitskontrolle auf ppt-Niveau
Die Gasreinigung verbessert die Prozesskonstanz, erhöht die Produktausbeute und verlängert die Lebensdauer der Werkzeuge
Gibt keine Kohlenwasserstoffe frei, die den Prozess verunreinigen könnten
Regenerable – beseitigt Entsorgungsprobleme
Einfach zu installieren, ohne bewegliche Teile oder Wärme- und Energiebedarf
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