Entgasungsaggregat LiquidLens™ LLD2
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Beschreibung
LiquidLens™ LLD2 UPW Entgasungsanlage
UPW-Entgasung für Immersionslithographie-Scanner
Das LiquidLens LLD2-System bietet Stabilität und Reinheit der Flüssiglinse, indem es gelöstes Gas reduziert und die UPW-Qualität überwacht
Hält kontinuierlich das angestrebte Temperatur- und Druckniveau des Auslasses UPW-Stromes aufrecht
Sichert den Prozess und die Maschine sicher mit Sicherheitsalarmen und Lecksensoren
Ermöglicht die Echtzeitüberwachung kritischer Parameter am Werkzeug und am zentralen Überwachungssystem des Kunden.
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.