Chambergard™ II maximaler Gas-Diffuser (Zerstäuber)
Hohes Volumen durch und schnelle Lüftung zum Atmosphärengasdiffuser (zerstäuber)
Stellt Großseriendurchsatz und schnelle Lüftung zur Atmosphäre zur Verfügung
Abbau Partikel des größeren als 0.003 µm vom ankommenden Gas setzt Defekte auf Oblaten herab
Empfohlen für Flachbildschirmanzeige und photo-voltaische Industrien
Materialien:
Membrane: PTFE
Stützt sich: PFA
Ausstattung-/Ineinander greifenabdeckung: Edelstahl 316L
Abbaubewertung:
≥ 99.9999999% Abbau der ≥ 0.003 µm Partikel im Gas
Stromabwärts gerichtete Sauberkeit:
Sauberkeit 0.01 µm
Maximales Differenzial pressure1:
Stab 2.5 (maximaler Eingangsdruck ist Stab 1.4, wenn Hochvakuumzustand)
Maximaler Betrieb temperature2:
120ºC (248ºF)
Garantie:
3 Jahr oder 1.000.000 cycles3
Anmerkung:
Raumtemperatur 1at und in den Edelgasen
2in Edelgase
Raumtemperatur 3at, in den Edelgasen und Differenzdruck ≥ 5 im Stab
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