Luftfilter SilverSet™

Aktivkohlefür Chemieanwendungengefaltet

SilverSet™ chemische Filter für Gehäuse E2600 Vorgerückte Scanner-Optik und widerstehen Schutz Aktivierte Carbonmittel in den Eingangsfiltern verhindert Umwandlung von PGMEA zur Essigsäure, die das Fotoresist verursachen kann, das Veränderung und Materialkorrosion verarbeitet Asymetric Filterkonfiguration verhindert Umwandlung von HDMSO zu TMS, das Scanner-Objektivverschmutzung verursacht Die hybriden Filter, die hoch-aktivierten Carbon plus vorgerückte plymetric Mittel enthalten, entfernt eine vollständige Auswahl der verunreiniger einschließlich Säuren, Unterseiten und verdichtbare organische Produkte 2-Jährige Filterlebenszeit bei >99% Abbau-Leistungsfähigkeit für Säuren, Unterseiten und verdichtbare organische Produkte in der typischen Cleanroomfotobucht bedingt Gefalteter Filterentwurf im steifen, tiefen Rahmen optimiert Fläche des Wirkanteils für maximale Anwendung und Leistungsfähigkeit Serienfilterplan mit interstack Probenahmehäfen liefert mehrfache Niveaus des Schutzes und lässt FilterLeistungskontrolle und frühe Durchbruchabfragung zu Chemische Filtrationleistung validiert durch Dienstleistungen die Entegrisanalytical, Versicherung bereitstellend, dass alle Filterleistungsansprüche mit stützendaten überprüft werden.