Planarcap® LPX Einwegfilter für den Einmalgebrauch
Einwegfilter für Kieselsäure und Aluminiumoxid-Schleifmittel für Oxid und Kupfer CMP am Einsatzort
Entwickelt für den Einsatz mit Silica- und Aluminiumoxidschlammlösungen - am häufigsten eingesetzt in Kupfer-, ILD-, STI- und Wolfram-CMP-Anwendungen
Erhältlich in einem breiten Spektrum von Retentionsstufen von 1 µm bis 5 µm
Erfüllt die Anforderungen von CMP-Güllefiltrationsanwendungen am Einsatzort
Erhältlich als Einwegfilter mit Flaretek®-Armaturen
Vollpolypropylen-Konstruktion mit plissierten Filtermedien
Materialien:
Mittel: Polypropylen mit plissierter Tiefe
Kern, Käfig und Granate: Polypropylen
Verbindungen:
Einlass/Auslass: 3/8" oder 1/4" Flaretek® Fitting
Entlüftung/Abfluss: 1/4" Flaretek® Verschraubung*
Maximale Betriebsbedingungen:
Maximaler Betriebsdruck: 0,27 MPa (2,7 bar, 40 PSI) bei 25°C
Maximaler Vorwärts-/Rückwärtsdifferenzdruck 0,27 MPa (2,7 bar, 40 PSID) bei 20°C
Maximale Betriebstemperatur: 40°C (104°F)
Notizen:
*Die Teilenummer SKNP 010L2F ist mit 1/8" MNPT Entlüftung/Abfluss erhältlich
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