Thermische Massedurchflussmesser werden zur Messung der Masse gasförmiger Flüssigkeiten entwickelt. Standard-Durchflussmesser benötigen eine Druck- und Temperaturkompensation, um den Durchfluss richtig zu messen. Massedurchflussmesser können jedoch direkt den Massedurchflusswert des Fluids berechnen, ohne dass eine Kompensation erforderlich ist. Massedurchflussmesser werden bevorzugt, weil sie einfach direkt eingesetzt werden können, keine beweglichen Teile haben, einen sehr geringen Druckverlust aufweisen, einen großen Messbereich haben, sehr empfindlich und sehr zuverlässig sind. Thermische Massedurchflussmesser werden hauptsächlich in Erdölderivaten, in der chemischen Industrie, in der medizinischen Industrie, in Wärmekraftwerken und im Umweltschutzbereich eingesetzt.
Thermische Massedurchflussmesser arbeiten nach dem Prinzip der Temperaturdiffusion. Die Wärmeableitungstechnik sorgt für ausgezeichnete Leistung und hohe Zuverlässigkeit unter vielen rauen Bedingungen. Die Durchflusserfassung erfolgt über 2 Platin-RTD-Temperaturwiderstände. Einer dieser beiden Sensoren ist der Geschwindigkeitssensor und der andere ist der Temperatursensor mit automatischer Temperaturkompensation.
Diese 2 RTD-Sensoren befinden sich in der Mitte des Durchflussrohrs. Der Geschwindigkeitssensor wird durch eine kontinuierliche Differenz bei einer Temperatur über der Umgebungstemperatur beheizt, und der Temperatursensor reagiert auf die Umgebungstemperatur. Mit zunehmender Gasgeschwindigkeit nimmt auch die vom Sensor an die Umgebung abgegebene Wärmemenge zu. Aus diesem Grund nimmt auch die Leistungsaufnahme des Sensors zu. Daher liefert der Heizungs-RTD-Sensor die Massendurchflussinformationen nach dem Prinzip der Leistungselektronik.
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