Regler und Druckminderventil / für Gas TESCOM™ 12

MembranEdelstahlNiederdruck

Regler der Serie 12 sind IGS/VCR® Druckminderer in Miniaturausführung für ultrahochreine Anwendungen. Regler der Serie 12 bieten eine Oberflächengüte von Ra 0,13 µm oder Ra 0,25 µm, eine angebundene Membran und eine interne Ausführung ohne Feder und Gewinde. Sie ermöglichen Eingangsdrücke von 10,3 bar (150 psig), einen Ausgangsdruck von 250 mm Hg-1,0, 2,1, 4,1, 6,9 bar (250 mm Hg-15, 30, 60, 100 psig) mit Durchflussraten bis 120 SLPM. Ideal für den Einsatz in OEM-Einheiten, Gasregelungskästen und Niederdruck-Gasflaschenschränken. Spezifikationen Werkstoff -Membran: Hastelloy® -Sitz: PCTFE -Ventilstößel: Hastelloy® -Sonstige Teile: Edelstahl 316L VAR Anschlüsse -Geschweißte Anschlüsse: 1/4 Zoll VCR® oder Rohrleitungsstutzen -SMD: 1,125 oder 1,50 Zoll Sockelgröße Durchflusskoeffizient -Standard: Cv = 0,04 -Hoher Durchfluss: Cv = 0,08 Gewicht -VCR®, IGS: 0,3 kg / 0,60 lb -A-Ausführung: 0,5 kg / 1,08 lbs Weitere Informationen -Weitere Informationen zu spezifischen Modifikationen oder kompletten Systemlösungen erhalten Sie von Ihrem lokalen Vertriebsbüro. Merkmale -Ausgezeichnete Wahl für hochmoderne OEM-Gassysteme -Hochpräzise Regelung für beste MFC-Stabilität -Überragende Leistung in einer Vielzahl von Anwendungen -Durchflussmengen von 2 sccm bis 120 Nl/min -Geringster Druckeinbruch und minimalste Hysterese eines Miniaturreglers -Ausgezeichnete Dichtheit durch ganzmetallische Abdichtung zwischen Membran und Gehäuse -Oberflächengüte innen von Ra 0,13 µm und Ra 0,25 µm -Erfüllt die Anforderungen von SEMI F19 und der SEMI-Richtlinien zu Modulschnittstellen