Enge
Kompaktbauweise
Auflösung 0.31 µm (1/8 Schritt)
Hohe Führerweise Genauigkeit
Leitspindeltaktabstand 0.5 Millimeter
X-Y-Z Konfigurationen vorhanden
Nicht leere Version
Vakuumkompatible motorisierte Stadien werden mit Vakuumkompatiblem Steppermotor ausgerüstet. Stadien stapeln in den X-Y Konfigurationen, die direkt Schrauben M6 verwenden. Winkelstütze 810-0160V wird benutzt, um Stadien für vertikale übersetzung anzubringen; sie wird auch für X-Y-Z Konfigurationen verwendet. Um Stadien an einer flachen Oberfläche anzubringen benötigen Sie Grundplatte 820-0115V.
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