Bearbeitungsspindel EZ-8212

KühlungSchleifzur Messung

Die Spindel EZ-8212 ist mit einem leistungsstarken Torque-Motor von Tecnotion ausgestattet und erreicht Drehzahlen von bis zu 5000 U/min. Bei hohen Drehzahlen muss das Luftlager gekühlt werden. Zu diesem Zweck befinden sich im Rotor vier Kühlkanäle, die über eine externe Drehdurchführung versorgt werden können. Der Kühlmitteleinlass befindet sich auf der Rückseite der Spindel, der Auslass an der Spindelnase; das austretende Kühlwasser kann somit zur Kühlung des Substrats verwendet werden. Die Motorkühlung erfolgt über einen separaten Kühlkreislauf, beide Anschlüsse befinden sich auf der Rückseite der Spindel. Eine integrierte Drehdurchführung ermöglicht den Anschluss einer Vakuum- oder Druckluftversorgung an der Spindelnase. Die Spindel wurde für Anwendungen im Bereich Waferschleifen entwickelt; ein Labyrinth mit Sperrluft ermöglicht den Einsatz in unsauberer Umgebung. Mit einer radialen und axialen Error Motion von weniger als 200 nm ist die Spindel für viele hochpräzise Bearbeitungsprozesse geeignet. Die Spindel ist mit einem TTR ERM-Messsystem von Heidenhain mit 512 Strichen ausgestattet. Sie kann in jeder Orientierung waagrecht und senkrecht eingebaut werden. Einsatzgebiete: Waferbearbeitung, in Testsystemen, Anwendungen mit hohen Rundlaufanforderungen.