XY-Positioniertisch EZ-0745-ZCZdrehbarmit Linearmotor
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- XY, Z, drehbar
- Typ
- mit Linearmotor
- Weitere Eigenschaften
- Luftkissen
- Hub
5 mm
(0,197 in)- Geschwindigkeit
10 mm/s
- Ladung
10 kg
(22,05 lb)
Beschreibung
Die luftgelagerte ZC-Achse EZ-0745 ist für die Integration in eine XY Stage (z.B. EZ-0715) konzipiert. Durch die hochintegrierte Bauweise ist nur eine geringe Bauhöhe von ca. 138 mm erforderlich. Der Drehwinkel ist auf ± 3° begrenzt. Die hohe Wiederholgenauigkeit von ± 1,5 μrad ermöglicht eine sehr präzise Ausrichtung des Substrats. Die Z-Achse ist durch 2 Luftlagerpads gegen Verdrehen gesichert und wird durch 2 gegenüber- liegende Voice Coil Motoren dynamisch angetrieben. Die Gewichtsentkopplung erfolgt über einen integrierten, luftgelagerten Pneumatikzylinder. Eine kundenspezifische Anpassung des Z-Hubs ist möglich.
Kataloge
EZ-0745-ZC
2 Seiten
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.